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文献
J-GLOBAL ID：201002013609046110
整理番号：77A0221247
プラズマ処理装置におけるrf放電プラズマ条件
rf Discharge plasma conditions in a plasma processing apparatus.
OJHA S M
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 27 号： 2 ページ： 65-67 発行年： 1977年
JST資料番号： E0347A CODEN： VACUA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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