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文献
J-GLOBAL ID:201002015913119266   整理番号:80A0112917

シリコンウエハ上に作成したガスクロマトグラフィー空気分析装置

A gas chromatographic air analyzer fabricated on a silicon wafer.
著者 (3件):
TERRY S C
(Stanford Univ., CA)
JERMAN J H
(Stanford Univ., CA)
ANGELL J B
(Stanford Univ., CA)

資料名:
IEEE Trans Electron Devices  (IRE Transactions on Electron Devices)

巻: 26  号: 12  ページ: 1880-1886  発行年: 1979年 
JST資料番号: C0222A  ISSN: 0018-9383  CODEN: IETDA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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