文献
J-GLOBAL ID:201002022014854700
整理番号:80A0178418
イオン打込み中のターゲット加熱と関連した問題
Target heating during ion implantation and related problems.
著者 (4件):
BRUEL M
(C.E.N. Grenoble, France)
,
BERTHET B
(C.E.N. Grenoble, France)
,
FLOCCARI M
(C.E.N. Grenoble, France)
,
MICHAUD J F
(C.E.N. Grenoble, France)
資料名:
Radiat Eff
(Radiation Effects)
巻:
44
号:
1/4
ページ:
173-179
発行年:
1979年
JST資料番号:
A0224A
ISSN:
0033-7579
CODEN:
RAEFB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)