文献
J-GLOBAL ID:201002024072735292
整理番号:80A0141137
ボロンおよびひ素拡散のためのスピンオン材料
Spin-on sources for boron and arsenic diffusion.
著者 (3件):
PRASAD P M
(Indian Inst. Technology)
,
RAO M V
(Indian Inst. Technology)
,
SUNDAR SINGH V P
(Indian Inst. Technology)
資料名:
Int J Electron
(International Journal of Electronics)
巻:
47
号:
5
ページ:
503-508
発行年:
1979年
JST資料番号:
C0287B
ISSN:
0020-7217
CODEN:
IJELA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)