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文献
J-GLOBAL ID：201002024400705371
整理番号：80A0257847
熱電界放出源の高分解能高電流電子線マイクロプローブへの応用
Application of a thermal field emission source for high resolution, high current e-beam microprobes.
TUGGLE D
(Oregon Graduate Center)
,
SWANSON L W
(Oregon Graduate Center)
,
ORLOFF J
(Oregon Graduate Center)
資料名：
J Vac Sci Technol
(Journal of Vacuum Science & Technology)
巻： 16 号： 6 ページ： 1699-1703 発行年： 1979年
JST資料番号： C0789A ISSN： 0022-5355 CODEN： JVSTA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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