文献
J-GLOBAL ID:201002025093469955
整理番号:80A0149309
Siの低温高圧水蒸気酸化
Low temperature, high pressure steam oxidation of silicon.
著者 (2件):
KATZ L E
(Bell Lab., Pennsylvania)
,
HOWELLS B F Jr
(Bell Lab., Pennsylvania)
資料名:
J Electrochem Soc
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
126
号:
10
ページ:
1822-1824
発行年:
1979年
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
0013-4651
CODEN:
JESOA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)