文献
J-GLOBAL ID:201002028171063447
整理番号:80A0063923
等価膜理論による粗界面をもつ基板-薄膜系の偏光解析
Ellipsometric investigations of a substrate-thin film system with rough boundaries using the equivalent film theory.
著者 (1件):
BRUDZEWSKI K
(Technical Univ. Warsaw, Poland)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
61
号:
2
ページ:
183-191
発行年:
1979年
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
CODEN:
THSFA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)