文献
J-GLOBAL ID:201002038715094320
整理番号:80A0109297
高精度計測法へのマイクロデンシトメータの応用
Use of microdensitometers as a basis for highly accurate metrology.
著者 (2件):
CAULFIELD H J
(Aerodyne Research, Inc., Massachusetts)
,
KRYGER D L
(Aerodyne Research, Inc., Massachusetts)
資料名:
Opt Eng
(Optical Engineering)
巻:
18
号:
5
ページ:
483-485
発行年:
1979年
JST資料番号:
B0577B
ISSN:
0036-1860
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)