文献
J-GLOBAL ID:201002041774167219
整理番号:80A0100432
アルミニウムなどへの高サイクルクローズドフィールドスパッタリング
Fast cycle closed field sputtering (CFS) for aluminum too?
著者 (2件):
ANDERSON A E
(General Engineering U.S.A. Ltd.)
,
SUGDEN G B
(General Engineering U.S.A. Ltd.)
資料名:
Annu Tech Conf Proc Soc Vac Coaters
(Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻:
22nd
ページ:
19-23
発行年:
1979年
JST資料番号:
E0063B
ISSN:
0737-5921
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)