文献
J-GLOBAL ID:201002044156009563
整理番号:80A0257839
電子線により作成した新しいメモリー構造
New e-beam-defined memory structures.
著者 (7件):
OLIVER M R
(Texas Instruments, Inc.)
,
MERCER H D
(Texas Instruments, Inc.)
,
HAVEMANN R H
(Texas Instruments, Inc.)
,
STEIN R J
(Texas Instruments, Inc.)
,
HESTER R K
(Texas Instruments, Inc.)
,
BLOCKER T G
(Texas Instruments, Inc.)
,
EASLEY R L
(Texas Instruments, Inc.)
資料名:
J Vac Sci Technol
(Journal of Vacuum Science & Technology)
巻:
16
号:
6
ページ:
1662-1664
発行年:
1979年
JST資料番号:
C0789A
ISSN:
0022-5355
CODEN:
JVSTA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)