文献
J-GLOBAL ID:201002044342282326
整理番号:80A0017093
WSi2の熱酸化の動力学
Kinetics of the thermal oxidation of WSi2.
著者 (3件):
MOHAMMADI F
(Stanford Univ., California)
,
SARASWAT K C
(Stanford Univ., California)
,
MEINDL J D
(Stanford Univ., California)
資料名:
Appl Phys Lett
(Applied Physics Letters)
巻:
35
号:
7
ページ:
529-531
発行年:
1979年
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)