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J-GLOBAL ID：201002045461332931 整理番号：75A0131953

同時スパッタしたZnO薄膜におけるせん断モード弾性波の励振

Excitation of shear mode elastic waves in co-sputtered ZnO films.

著者 (3件)：

WASA K

HAYAKAWA S

HADA T

資料名：

I E E E Trans Sonics Ultrason (Inst Electr Electron Eng) (IRE Transactions on Ultrasonics Engineering)

巻： 21 号： 4 ページ： 298-299 発行年： 1974年
JST資料番号： H0369A 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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