文献
J-GLOBAL ID:201002045627589197
整理番号:80A0175275
表面音響波を用いた半導体表面の非接触法による特性化
Contactless semiconductor surface characterization using surface acoustic waves.
著者 (4件):
DAS P
(Rensselaer Polytechnic Inst., New York)
,
WEBSTER R T
(Rensselaer Polytechnic Inst., New York)
,
ESTRADA-VAZQUEZ H
(Rensselaer Polytechnic Inst., New York)
,
WANG W C
(Polytechnic Inst. New York)
資料名:
Surf Sci
(Surface Science)
巻:
86
ページ:
848-857
発行年:
1979年
JST資料番号:
C0129B
ISSN:
0039-6028
CODEN:
SUSCA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)