文献
J-GLOBAL ID:201002048841458791
整理番号:80A0190147
共通ターゲットをスパッタリングする方法により得られた非晶質薄膜の組成コントロール
Controlling the properties of amorphous films in common target sputtering.
著者 (2件):
OKUNEV V D
(Inst. Mechanics, Academy of Sciences of the Ukrainian SSR, USSR)
,
YUROV A G
(Inst. Mechanics, Academy of Sciences of the Ukrainian SSR, USSR)
資料名:
Sov Tech Phys Lett
(Soviet Technical Physics Letters)
巻:
5
号:
2
ページ:
64-65
発行年:
1979年
JST資料番号:
H0665A
ISSN:
0360-120X
CODEN:
STPLD
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)