文献
J-GLOBAL ID:201002053240993243
整理番号:80A0219100
デバイスのミクロ製作における電子の物理 I 一般的背景と走査系
Electron physics in device microfabrication. I. General background and scanning systems.
著者 (1件):
THORNTON P R
(G C A Corp., Massachusetts)
資料名:
Adv Electron Electron Phys
(Advances in Electronics and Electron Physics)
巻:
48
ページ:
271-380
発行年:
1979年
JST資料番号:
A0364B
ISSN:
0065-2539
CODEN:
AEEPA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)