文献
J-GLOBAL ID:201002056416156180
整理番号:80A0040021
MOS構造の不動態化における塩素の役割
On the role of chlorine in the passivation of MOS structures.
著者 (1件):
WRON ́SKI W
(Inst. Nuclear Research, Warsaw)
資料名:
Phys Status Solide A
(Physica Status Solidi. A. Applied Research)
巻:
53
号:
2
ページ:
659-664
発行年:
1979年
JST資料番号:
D0774A
ISSN:
0031-8965
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
東ドイツ (DDR)
言語:
英語 (EN)