文献
J-GLOBAL ID:201002056626920860
整理番号:80A0353246
サファイア上にrfスパッタしたZnO単結晶薄膜の構造とSAWの性質
Structures and SAW properties of rf-sputtered single-crystal films of ZnO on sapphire.
著者 (3件):
MITSUYU T
(Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Osaka)
,
ONO S
(Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Osaka)
,
WASA K
(Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Osaka)
資料名:
J Appl Phys
(Journal of Applied Physics)
巻:
51
号:
5
ページ:
2464-2470
発行年:
1980年
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)