文献
J-GLOBAL ID:201002060561245954
整理番号:80A0063930
RFスパッタリングによるりん化ガリウム薄膜
R.F. sputtering of gallium phosphide thin films.
著者 (4件):
STAROSTA K
(Inst. Radio Engineering and Electronics, Czechoslovak Academy of Sciences)
,
ZELINKA J
(Inst. Radio Engineering and Electronics, Czechoslovak Academy of Sciences)
,
BERKOVA ́ D
(Inst. Radio Engineering and Electronics, Czechoslovak Academy of Sciences)
,
KOHOUT J
(Inst. Radio Engineering and Electronics, Czechoslovak Academy of Sciences)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
61
号:
2
ページ:
241-248
発行年:
1979年
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
CODEN:
THSFA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)