文献
J-GLOBAL ID:201002062066344078
整理番号:80A0019917
イオン注入p抵抗の信頼性
Ion implanted p-resistor reliability.
著者 (3件):
CHAUDHARI P K
(International Business Machines Corp., New York)
,
NELSON G R
(International Business Machines Corp., New York)
,
NAGARAJAN A
(International Business Machines Corp., New York)
資料名:
Annu Proc Reliab Phys
(Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻:
17th
ページ:
234-237
発行年:
1979年
JST資料番号:
A0631A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)