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文献
J-GLOBAL ID：201002065420369473
整理番号：77A0125026
断面透過電子顕微鏡法によるSi/SiO2界面の観察
The Si/SiO2 interface examined by cross-sectional transmission electron microscopy.
BLANC J
,
BUIOCCHI C J
,
ABRAHAMS M S
,
HAM W E
資料名：
Appl Phys Lett
(Applied Physics Letters)
巻： 30 号： 2 ページ： 120-122 発行年： 1977年
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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