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文献
J-GLOBAL ID：201002066423458791
整理番号：80A0155402
CVD過程におけるGaAs表面の微視的形態のその場観察
In situ study of GaAs surface micromorphology in CVD processes.
KUZNETSOV F A
(Inst. Inorganic Chemistry, USSR Academy of Sciences)
,
FAYNER N I
(Inst. Inorganic Chemistry, USSR Academy of Sciences)
,
RUMYANTSEV Yu M
(Inst. Inorganic Chemistry, USSR Academy of Sciences)
資料名：
Proc Int Conf Chem Vapor Deposition
(International Conference on Chemical Vapor Deposition)
巻： 7th ページ： 261-269 発行年： 1979年
JST資料番号： E0761A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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