文献
J-GLOBAL ID:201002066918832762
整理番号:80A0257867
直接スライス書込み用高速電子光学系
High speed electron optics for direct slice writing.
著者 (5件):
PEARCE-PERCY H T
(Texas Instruments, Inc.)
,
SPICER D F
(Texas Instruments, Inc.)
,
ABBOT M
(Texas Instruments, Inc.)
,
WINBORN C
(Texas Instruments, Inc.)
,
VARNELL G L
(Texas Instruments, Inc.)
資料名:
J Vac Sci Technol
(Journal of Vacuum Science & Technology)
巻:
16
号:
6
ページ:
1794-1799
発行年:
1979年
JST資料番号:
C0789A
ISSN:
0022-5355
CODEN:
JVSTA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)