文献
J-GLOBAL ID:201002072765425968
整理番号:80A0195030
スパッタリングの過程とスパッタイオンエミッション
The sputtering process and sputtered ion emission.
著者 (1件):
WILLIAMS P
(Univ. Illinois at Urbana-Champaign)
資料名:
Surf Sci
(Surface Science)
巻:
90
号:
2
ページ:
588-634
発行年:
1979年
JST資料番号:
C0129B
ISSN:
0039-6028
CODEN:
SUSCA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)