文献
J-GLOBAL ID:201002073964205191
整理番号:80A0098338
物理的蒸着によるほう素膜の生長
The growth of boron films by physical vapour deposition.
著者 (5件):
ISHIWATARI K
(Matsushita Electric Industrial Co. Ltd., Kadoma)
,
TAKEUCHI H
(Matsushita Electric Industrial Co. Ltd., Kadoma)
,
KAWABATA H
(Matsushita Electric Industrial Co. Ltd., Kadoma)
,
SHIMIZU T
(Matsushita Electric Industrial Co. Ltd., Kadoma)
,
SAKAMOTO N
(Matsushita Electric Industrial Co. Ltd., Kadoma)
資料名:
J Less-Common Met
(Journal of the Less-Common Metals)
巻:
67
号:
1
ページ:
79-83
発行年:
1979年
JST資料番号:
D0083A
ISSN:
0022-5088
CODEN:
JCOMA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)