文献
J-GLOBAL ID:201002074086434900
整理番号:80A0032362
レーザ照射によるけい化物形成の研究
A study of silicide formation by laser irradiation.
著者 (2件):
WITTMER M
(Brown Boveri Research Center, Switzerland)
,
Von ALLMEN M
(Univ. Bern, Switzerland)
資料名:
J Appl Phys
(Journal of Applied Physics)
巻:
50
号:
7
ページ:
4786-4790
発行年:
1979年
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)