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文献
J-GLOBAL ID：201002074565915807
整理番号：77A0383964
高周波反応性イオンプレーティングによるモリブデン上への窒化シリコン被覆
Silicon nitride coatings on molybdenum by RF reactive ion plating.
FUKUTOMI M
,
KITAJIMA M
,
OKADA M
,
WATANABE R
資料名：
J Electrochem Soc
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 124 号： 9 ページ： 1420-1424 発行年： 1977年
JST資料番号： C0285A ISSN： 0013-4651 CODEN： JESOA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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