文献
J-GLOBAL ID:201002076258280686
整理番号:80A0181714
抵抗率測定によるSi中の二種類の酸素ドナーの比較
Comparison of two kinds of oxygen donors in silicon by resistivity measurements.
著者 (2件):
KANAMORI A
(VLSI Technology Research Assoc., Kawasaki)
,
KANAMORI M
(VLSI Technology Research Assoc., Kawasaki)
資料名:
J Appl Phys
(Journal of Applied Physics)
巻:
50
号:
12
ページ:
8095-8101
発行年:
1979年
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)