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J-GLOBAL ID：201002077960899232 整理番号：77A0374945

表面下の欠陥を検知する走査電子顕微鏡の陰極線ルミネセンスモードの使用

The use of the cathodoluminescent mode of the scanning electron microscope to detect subsurface damage.

著者 (4件)：

CASEY M

LEWIS A G

THORNTON A G

WILKS J

資料名：

J Phys D (British Journal of Applied Physics (Journal of Physics. D))

巻： 10 号： 13 ページ： 1877-1881,1882(3)-1882(5) 発行年： 1977年
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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