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文献
J-GLOBAL ID：201002078455344869
整理番号：77A0363894
高感度顕微干渉法の研究 モアレ観測型および多光束型干渉法
和田尚
(東京都大・工)
,
平林次夫
(東京都大・工)
資料名：
精密機械
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 43 号： 10 ページ： 1155-1160 発行年： 1977年
JST資料番号： F0268A ISSN： 0374-3543 CODEN： SEKIA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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