文献
J-GLOBAL ID:201002079530926654
整理番号:80A0124520
フルオロカーボンのプラズマ重合 ふっ素化化合物のプラズマ析出
Plasma polymerization of fluorocarbons. Plasma deposition of fluorinated compounds.
著者 (2件):
PAVLATH A E
(U.S. Dep. Agriculture, CA)
,
PITTMAN A G
(U.S. Dep. Agriculture, CA)
資料名:
ACS Symp Ser (Am Chem Soc)
(ACS Symposium Series (American Chemical Society))
号:
108
ページ:
181-192
発行年:
1979年
JST資料番号:
H0588B
ISSN:
0097-6156
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)