文献
J-GLOBAL ID:201002086131767131
整理番号:80A0127347
進んだリソグラフィー技術に関連した放射線レベル
Radiation levels associated with advanced lithographic techniques.
著者 (3件):
GALLOWAY K F
(National Bureau of Standards, Washington, D.C.)
,
MAYO S
(National Bureau of Standards, Washington, D.C.)
,
ROITMAN P
(National Bureau of Standards, Washington, D.C.)
資料名:
J Electrochem Soc
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
126
号:
12
ページ:
2245-2248
発行年:
1979年
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
0013-4651
CODEN:
JESOA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)