文献
J-GLOBAL ID:201002091159532591
整理番号:80A0198371
高集積半導体メモリー製造における低価格化のための精度許容の手段
Fehlertolerierende Methoden zur Kostensenkung bei der Herstellung hochintegrierter Halbleiterspeicher.
著者 (1件):
HEDTKE R
(Technische Hochschule Darmstadt)
資料名:
NTG Fachber
(Nachrichtentechnische Fachberichte)
巻:
68
ページ:
35-38
発行年:
1979年
JST資料番号:
E0417A
ISSN:
0341-0196
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
ドイツ語 (DE)