文献
J-GLOBAL ID:201002093681672860
整理番号:80A0257855
レジストレーション・マークにおける後方散乱のモンテカルロ計算
Monte-carlo calculations of backscattered electrons at registration marks.
著者 (1件):
STEPHANI D
(Technical Univ. Aachen, Federal)
資料名:
J Vac Sci Technol
(Journal of Vacuum Science & Technology)
巻:
16
号:
6
ページ:
1739-1742
発行年:
1979年
JST資料番号:
C0789A
ISSN:
0022-5355
CODEN:
JVSTA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)