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文献
J-GLOBAL ID：201002094893274500
整理番号：78A0337402
(100)Siの異方性エッチングによる高精度ノズルの作製
The fabrication of high precision nozzles by the anisotropic etching of (100) silicon.
BASSOUS E
,
BARAN E F
資料名：
J Electrochem Soc
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 125 号： 8 ページ： 1321-1327 発行年： 1978年
JST資料番号： C0285A ISSN： 0013-4651 CODEN： JESOA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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