文献
J-GLOBAL ID:201002095163728200
整理番号:80A0109684
低エネルギー電子ビームと有機レジストとの相互作用のBethe-Blochモデルに対する実験的テスト
Experimental test of the Bethe-Bloch model in the interaction of a low-energy electron beam with an organic resist.
著者 (2件):
MARGOLIN V I
(V.I. Ul’yanov (Lenin) Leningrad Electrotechnical Inst.)
,
GUROV S A
(V.I. Ul’yanov (Lenin) Leningrad Electrotechnical Inst.)
資料名:
Sov Tech Phys Lett
(Soviet Technical Physics Letters)
巻:
5
号:
3
ページ:
132-133
発行年:
1979年
JST資料番号:
H0665A
ISSN:
0360-120X
CODEN:
STPLD
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)