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文献
J-GLOBAL ID：201002200041338611
整理番号：10A0714070
Cu電気めっき過程における電解によるポリエチレングリコールの分解 併用した実験的および密度汎関数法の研究
Degradation of Poly(ethylene glycol) by Electrolysis During the Cu Electroplating: A Combined Experimental and Density Functional Theory Study
WON Yong Sun
(Samsung Electro-Mechanics Co. Ltd., Gyunggi-Do, KOR)
,
CHO Donghyun
(Samsung Electro-Mechanics Co. Ltd., Gyunggi-Do, KOR)
,
KIM Yunhee
(Samsung Electro-Mechanics Co. Ltd., Gyunggi-Do, KOR)
,
LEE Jinuk
(Samsung Electro-Mechanics Co. Ltd., Gyunggi-Do, KOR)
,
PARK Sung Soo
(Samsung Electro-Mechanics Co. Ltd., Gyunggi-Do, KOR)
資料名：
Journal of Applied Polymer Science
(Journal of Applied Polymer Science)
巻： 117 号： 4 ページ： 2083-2089 発行年： 2010年08月15日
JST資料番号： C0467A ISSN： 0021-8995 CODEN： JAPNAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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