文献
J-GLOBAL ID:201002203332783980
整理番号:10A0685115
ASMLのNXEプラットフォームによるEUV生産
EUV into production with ASML’s NXE platform
著者 (11件):
WAGNER Christian
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
HARNED Noreen
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
KUERZ Peter
(Carl Zeiss SMT AG, Oberkochen, DEU)
,
LOWISCH Martin
(Carl Zeiss SMT AG, Oberkochen, DEU)
,
MEILING Hans
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
OCKWELL David
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
PEETERS Rudy
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
VAN INGEN-SCHENAU Koen
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
VAN SETTEN Eelco
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
STOELDRAIJER Judon
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
THUERING Bernd
(Carl Zeiss SMT AG, Oberkochen, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7636
号:
Pt.1
ページ:
76361H.1-76361H.12
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)