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文献
J-GLOBAL ID：201002203648062096
整理番号：10A0464917
La2O3MOSデバイスへのアルカリ土類元素キャップによる電気特性の変化
小柳友常
(東京工大)
,
角嶋邦之
(東京工大)
,
AHMET P.
(東京工大)
,
筒井一生
(東京工大)
,
西山彰
(東京工大)
,
杉井信之
(東京工大)
,
名取研二
(東京工大)
,
服部健雄
(東京工大)
,
岩井洋
(東京工大)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 57th ページ： ROMBUNNO.19A-P11-16 発行年： 2010年03月03日
JST資料番号： Y0054B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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