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文献
J-GLOBAL ID：201002209196537260
整理番号：10A0858059
矩形アパーチャマスクによる微細負荷効果を用いた三次元シリコン製作
Three-dimensional silicon fabrication using microloading effects with a rectangular aperture mask
TAKAHATA Tomoyuki
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
IWASE Eiji
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
MATSUMOTO Kiyoshi
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SHIMOYAMA Isao
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20 号： 7 ページ： 075022,1-9 発行年： 2010年07月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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