文献
J-GLOBAL ID:201002211968695049
整理番号:10A0499630
グロー放電深さプロフィリング分析における表面トポグラフィー効果
Surface topography effects on glow discharge depth profiling analysis
著者 (7件):
TRIGOULET N.
(Univ. Manchester, Manchester, GBR)
,
HASHIMOTO T.
(Univ. Manchester, Manchester, GBR)
,
MOLCHAN I. S.
(Univ. Manchester, Manchester, GBR)
,
SKELDON P.
(Univ. Manchester, Manchester, GBR)
,
THOMPSON G. E.
(Univ. Manchester, Manchester, GBR)
,
TEMPEZ A.
(HORIBA Jobin Yvon, Longjumeau, FRA)
,
CHAPON P.
(HORIBA Jobin Yvon, Longjumeau, FRA)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
42
号:
4
ページ:
328-333
発行年:
2010年04月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)