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J-GLOBAL ID：201002212856683508 整理番号：10A0060034

微細パターンを形成したシリコン表面におけるカーボンオニオンの潤滑特性

Lubrication Property of Carbon Onions on Silicon Surface with Fine Patterns

著者 (2件)：

稲葉武信

(東京工大大学院)

平田敦

(東京工大大学院理工学研究科)

資料名：

精密工学会誌(CD-ROM) (精密工学会誌論文集)

巻： 76 号： 1 ページ： 59-63 発行年： 2010年01月05日
JST資料番号： F0268B ISSN： 1348-8716 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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