文献
J-GLOBAL ID:201002214145019608
整理番号:10A0503222
新しい酸化物軟X線反射鏡のためのc面サファイア基板上のZnOおよびTiO2薄膜の原子層エピタクシ
Atomic layer epitaxy of ZnO and TiO2 thin films on c-plane sapphire substrate for novel oxide soft x-ray mirrors
著者 (5件):
MURATA Masaki
(Osaka City Univ., Osaka, JPN)
,
TANAKA Yuji
(Osaka City Univ., Osaka, JPN)
,
KUMAGAI Hiroshi
(Osaka City Univ., Osaka, JPN)
,
SHINAGAWA Tsutomu
(Osaka Municipal Technical Res. Inst., Osaka, JPN)
,
KOBAYASHI Ataru
(Osaka City Univ., Osaka, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7603
ページ:
76030R.1-76030R.10
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)