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文献
J-GLOBAL ID：201002214145019608
整理番号：10A0503222
新しい酸化物軟X線反射鏡のためのc面サファイア基板上のZnOおよびTiO2薄膜の原子層エピタクシ
Atomic layer epitaxy of ZnO and TiO2 thin films on c-plane sapphire substrate for novel oxide soft x-ray mirrors
MURATA Masaki
(Osaka City Univ., Osaka, JPN)
,
TANAKA Yuji
(Osaka City Univ., Osaka, JPN)
,
KUMAGAI Hiroshi
(Osaka City Univ., Osaka, JPN)
,
SHINAGAWA Tsutomu
(Osaka Municipal Technical Res. Inst., Osaka, JPN)
,
KOBAYASHI Ataru
(Osaka City Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 7603 ページ： 76030R.1-76030R.10 発行年： 2010年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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