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文献
J-GLOBAL ID：201002215709484469
整理番号：10A0537169
OTS-SAMとSiO2コーティングを用いたシリコンのマイクロマシニングにおける小丘形成の予防
Prevention of hillock formation during micro-machining of silicon by using OTS-SAM and SiO2 coatings
OH T-s.
(Yonsei Univ., KOR)
,
KIM H-j.
(Yonsei Univ., KOR)
,
KIM D-e.
(Yonsei Univ., KOR)
資料名：
CIRP Annals. Manufacturing Technology
(CIRP Annals. Manufacturing Technology)
巻： 59 号： 1 ページ： 259-262 発行年： 2010年
JST資料番号： E0026A ISSN： 0007-8506 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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