文献
J-GLOBAL ID:201002217062786649
整理番号:10A0924539
外因性欠陥により生じたCu IMD-TDDBのモデリング
Modeling of Cu IMD-TDDB caused by extrinsic defects
著者 (5件):
OUCHI T.
(Renesas Technol. Corp., Ibaraki-ken, JPN)
,
MAKABE K.
(Renesas Technol. Corp., Ibaraki-ken, JPN)
,
OGASAWARA M.
(Renesas Technol. Corp., Ibaraki-ken, JPN)
,
MURAKAMI E.
(Renesas Technol. Corp., Ibaraki-ken, JPN)
,
YOSHIOKA N.
(Renesas Technol. Corp., Ibaraki-ken, JPN)
資料名:
Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium
(Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻:
2010 Vol.1
ページ:
120-124
発行年:
2010年
JST資料番号:
A0631A
ISSN:
1541-7026
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)