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文献
J-GLOBAL ID:201002217746385830   整理番号:10A0491166

マイクロカンチレバーの機械特性のプラズマ誘起劣化

Plasma-Induced Deterioration of Mechanical Characteristics of Microcantilever
著者 (6件):
TOMURA Maju
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
HUANG Chi-Hsien
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
YOSHIDA Yusuke
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
ONO Takahito
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
YAMASAKI Satoshi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
SAMUKAWA Seiji
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)

巻: 49  号: 4,Issue 2  ページ: 04DL20.1-04DL20.4  発行年: 2010年04月25日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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