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文献
J-GLOBAL ID：201002217746385830
整理番号：10A0491166
マイクロカンチレバーの機械特性のプラズマ誘起劣化
Plasma-Induced Deterioration of Mechanical Characteristics of Microcantilever
TOMURA Maju
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
HUANG Chi-Hsien
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
YOSHIDA Yusuke
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ONO Takahito
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
YAMASAKI Satoshi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
SAMUKAWA Seiji
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49 号： 4,Issue 2 ページ： 04DL20.1-04DL20.4 発行年： 2010年04月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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