文献
J-GLOBAL ID:201002219169324861
整理番号:10A1114596
クラック増加と応力制御によるSLiMカット薄厚シリコンウエハ製作
SLiM-Cut thin silicon wafering with enhanced crack and stress control
著者 (4件):
VAES Jan
(Imec vzw, Heverlee, BEL)
,
MASOLIN Alex
(Imec vzw, Heverlee, BEL)
,
PESQUERA Amaia
(Imec vzw, Heverlee, BEL)
,
DROSS Frederic
(Imec vzw, Heverlee, BEL)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7772
ページ:
777212.1-777212.11
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)