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文献
J-GLOBAL ID：201002220803503454
整理番号：10A0978318
ナノプローバを用いたコンタクトレベルPVC(受動電圧コントラスト)の電気特性評価
Electrical Characterization of Contact Level PVC (Passive Voltage Contrast) Test Using a Nanoprober
HAN Sang-Cheol
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
,
CHO Seong-Jun
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
,
CHOI Jeong-Un
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
,
HAN Jeong-Uk
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
,
HAH Sang-Rok
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
資料名：
Proceedings of the International Symposium on the Physical & Failure Analysis of Integrated Circuits
(Proceedings of the International Symposium on the Physical & Failure Analysis of Integrated Circuits)
巻： 17th ページ： 286-289 発行年： 2010年
JST資料番号： W1259A ISSN： 1946-1542 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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