文献
J-GLOBAL ID:201002221027922308
整理番号:10A0731511
輪郭線計測工学における近接関連エラー
Proximity-associated errors in contour metrology
著者 (3件):
VILLARRUBIA John S.
(National Inst. Standards and Technol., MD)
,
DIXSON Ronald G.
(National Inst. Standards and Technol., MD)
,
VLADAR Andras E.
(National Inst. Standards and Technol., MD)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7638
号:
Pt.1
ページ:
76380S.1-76380S.11
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)