文献
J-GLOBAL ID:201002221488680314
整理番号:10A0924536
NBTIとAHTOL試験により生じたVTとVmin挙動の特性評価による成熟したプロセス可能性と製造性
MATURE PROCESSABILITY AND MANUFACTURABILITY BY CHARACTERIZING VT AND VMIN BEHAVIORS INDUCED BY NBTI AND AHTOL TEST
著者 (9件):
PARK Jongwoo
(Samsung Electronics, Gyeonggi-Do, KOR)
,
HA Sungmok
(Samsung Electronics, Gyeonggi-Do, KOR)
,
LIM Sunme
(Samsung Electronics, Gyeonggi-Do, KOR)
,
YOO Jae-Yoon
(Samsung Electronics, Gyeonggi-Do, KOR)
,
PARK Junkyun
(Samsung Electronics, Gyeonggi-Do, KOR)
,
BAE Kidan
(Samsung Electronics, Gyeonggi-Do, KOR)
,
KIM Gunrae
(Samsung Electronics, Gyeonggi-Do, KOR)
,
KIM Min
(Samsung Electronics, Gyeonggi-Do, KOR)
,
KIM Yongshik
(Samsung Electronics, Gyeonggi-Do, KOR)
資料名:
Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium
(Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻:
2010 Vol.1
ページ:
104-110
発行年:
2010年
JST資料番号:
A0631A
ISSN:
1541-7026
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)