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文献
J-GLOBAL ID：201002226845799106
整理番号：10A0464886
極薄EOT実現に向けたプラズマ窒化応用high-k/Geゲートスタックの提案
朽木克博
(大阪大 大学院)
,
岡本学
(大阪大 大学院)
,
秀島伊織
(大阪大 大学院)
,
上西悠介
(大阪大 大学院)
,
桐野嵩史
(大阪大 大学院)
,
HARRIES James
(原子力機構)
,
吉越章隆
(原子力機構)
,
寺岡有殿
(原子力機構)
,
細井卓治
(大阪大 大学院)
,
志村考功
(大阪大 大学院)
,
渡部平司
(大阪大 大学院)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 57th ページ： ROMBUNNO.18P-P9-5 発行年： 2010年03月03日
JST資料番号： Y0054B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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